投資名古屋大學(xué)創(chuàng)業(yè)公司Photo electron Soul，加強(qiáng)半導(dǎo)體檢測業(yè)務(wù)

Ushio Inc.（總部：東京，總裁兼執(zhí)行官：Koji Naito，以下簡稱“Ushio"）特此宣布，我們已投資擁有下一代電子束生成技術(shù)的Photo electron Soul Inc.（執(zhí)行官：鈴木孝之，以下簡稱“PeS"），并簽署了安裝在電子束半導(dǎo)體晶圓圖案檢測設(shè)備中的半導(dǎo)體光電陰極單電子束生成系統(tǒng)（該系統(tǒng)）的代理協(xié)議。

PeS是名古屋大學(xué)成立于2015年的初創(chuàng)公司，是世界上一家成功開發(fā)創(chuàng)新工業(yè)半導(dǎo)體光電陰極電子束系統(tǒng)的公司。采用半導(dǎo)體光電陰極技術(shù)的電子束*1PeS旗下作為明亮光源或加工工具備受關(guān)注，有望用于半導(dǎo)體檢測、電子顯微鏡和3D打印等應(yīng)用。

檢測時(shí)間長導(dǎo)致產(chǎn)量低，檢測精度低導(dǎo)致良率低，這些都是挑戰(zhàn)，特別是在半導(dǎo)體制造工藝的檢測中，近年來小型化和多層化的進(jìn)步令人矚目。為了應(yīng)對這些挑戰(zhàn)，Ushio專注于PeS擁有的這個(gè)系統(tǒng)，這一次，我們投資并獲得了銷售權(quán)。因此，從今年1月起，我們利用牛尾的半導(dǎo)體檢查設(shè)備光源全球銷售渠道和各種半導(dǎo)體制造設(shè)備的全球維護(hù)系統(tǒng)，開始針對半導(dǎo)體制造檢查設(shè)備制造商和半導(dǎo)體設(shè)備制造商的銷售活動(dòng)。

Ushio將繼續(xù)通過我們的光技術(shù)，提供克服工業(yè)流程技術(shù)創(chuàng)新瓶頸的光解決方案，包括推進(jìn)半導(dǎo)體小型化，為創(chuàng)造一個(gè)方便舒適的社會(huì)做出貢獻(xiàn)。

*<> 電子束生成技術(shù)之一，通過照射材料上的光來利用光能提取電子束。

■半導(dǎo)體光電陰極電子束（圖）

通過照射激光在半導(dǎo)體光電陰極上產(chǎn)生電子束
■PeS電子束的主要特點(diǎn) ?亮度是傳統(tǒng)熱場發(fā)射電子束的十倍以上

?數(shù)字選擇性電子束TM系列（DSeB） 函數(shù)*2
?多可變形電子束
?即使在長時(shí)間運(yùn)行中也能保持高正常運(yùn)行時(shí)間和出色的輸出穩(wěn)定性 

*2：快速激光開/關(guān)功能，可在特定區(qū)域在電子束照射和非照射之間切換。